
PLT/MFS40KW实物照片
日本PLT/MFS中频磁控溅射电源系列
用途特点:
该机采用日本最新一代高频逆变电源技术,关键部件直接日方提供,主功率器件选用德国进口之原装部件,其显著特点为功率大,靶材离化率高,体积小,自身及靶材保护功能强大,故障率极低,多重售后服务保障。
适配模块尺寸:350*440*90mm
电源模块尺寸:580*440*180mm。
每套电源由一个适配模块和若干个电源模块组合而成。
日本PLT/MFS中频电源型号以及参数:
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型号 |
频率 |
功率 |
冷却方式 |
工作方式 |
电压范围(V) |
电流 MAX(A) |
模块数量 |
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PLT/MFS10KW |
45KHz |
10KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
15 |
2 |
|
PLT/MFS15KW |
45KHz |
15KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
20 |
2 |
|
PLT/MFS20KW |
45KHz |
20KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
25 |
3 |
|
PLT/MFS30KW |
45KHz |
30KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
40 |
3 |
|
PLT/MFS40KW |
45KHz |
40KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
50 |
3 |
|
PLT/MFS60KW |
45KHz |
60KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
75 |
4 |
|
PLT/MFS80KW |
45KHz |
80KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
100 |
5 |
|
PLT/MFS100KW |
45KHz |
100KW |
风冷+水冷 |
恒流/恒功 |
200—800 |
125 |
6 |

日本PLT/MFS中频电源实际工作波形图
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