日本PLT/MFS中频溅射电源

日本PLT/DCS功率直流溅射

超薄机身离子镀多弧电源

100kw中频磁控溅射电源(LOW-E幕墙玻璃连续镀膜机专用)

太阳能集热管镀膜机专用直流磁控溅射电源

高频脉冲偏压电源

四路可编程质量流量控制显示仪

 

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                                                                        PLT/MFS40KW实物照片
日本PLT/MFS中频磁控溅射电源系列
用途特点:
        该机采用日本最新一代高频逆变电源技术,关键部件直接日方提供,主功率器件选用德国进口之原装部件,其显著特点为功率大,靶材离化率高,体积小,自身及靶材保护功能强大,故障率极低,多重售后服务保障。
       适配模块尺寸:350*440*90mm                    电源模块尺寸:580*440*180mm。
         每套电源由一个适配模块和若干个电源模块组合而成。
        
日本PLT/MFS中频电源型号以及参数:

 型号        频率 功率 冷却方式 工作方式 电压范围(V) 电流 MAX(A) 模块数量
PLT/MFS10KW 45KHz 10KW  风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 15 2
PLT/MFS15KW 45KHz 15KW  风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 20 2
PLT/MFS20KW 45KHz 20KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 25 3
PLT/MFS30KW  45KHz 30KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 40 3
PLT/MFS40KW 45KHz 40KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 50 3
PLT/MFS60KW  45KHz 60KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 75 4
PLT/MFS80KW   45KHz 80KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 100 5
PLT/MFS100KW 45KHz 100KW 风冷+水冷 恒流/恒功 200—800 125 6

                       

                               日本PLT/MFS中频电源实际工作波形图            

欢迎广大用户来电查询,我公司可提供样机试用(样机只需支付少许押金)。